Qualitatsbestimmende Prozessparameter Beim Einzelpulsbohren Mit Einem Nd: Yag-Slablaser

Schon wenige Jahre nach der Vorstellung des ersten funktionierenden Lasers im Jahr 1960 wurde ein Nd:YAG-Festkrperlaser zum Bohren von Uhrenlagersteinen industriell eingesetzt [1], [2]. Trotzdem ist das Laserbohren heute gegenber dem Laserschneiden und -schweien im industriellen Bereich wenig vertreten [3]. Die wesentlichen Ursachen fur die geringere Verbreitung des Laserbohrens liegen in der zu ungenauen Reproduzierbarkeit der Bohrungsdurchmesser und der groen Konizitt der Bohrungen. Auch Schmelzablagerungen an den Bohrungen machen speziell bei Mikroanwendungen oftmals weiterhin eine Nachbearbeitung notwendig. Um diese Nachteile beheben zu knnen, ist sowohl ein vollstndiges Verstndnis der physikalischen Prozesse beim Bohrvorgang notwendig als auch die Entwicklung von neuen Strahlquellen mit entsprechend hoher Strahlqualitt erforderlich. Um bei Festkrperlasern eine gute Strahlqualitt bei gleichzeitiger Erhhung der Laserleistung zu erzielen, mssen die unerwnschten optischen Effekte, wie die thermische Linsenbildung und die thermi schen Spannungen, im Lasermedium kompensiert werden [4]. Lsungsmglichkeiten bestehen entweder in der Verwendung eines instabilen Resonators [5] oder im Einsatz von einer Kristallgeometrie in Forme einer Platte (eng.: Slab) gegenber dem bisher verwendeten zylinderfrmigen Laserstab (eng.: Rod) [6].