Grundlagen zur Entwicklung Reinraumtauglicher Handhabungssysteme

Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinraumen stattfinden, gewinnt aus Grunden der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Veroffentlichung wird eine Messmethode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Messmethodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bezuglich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefasst. Mit deren Anwendung ist es moglich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Messmethodik zur Verfugung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es moglich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen.