Elektrisch-Mechanisch-Akustische Wandlereigenschaften : gelochter piezoelektrischer Biegeplatten für die Anwendungen in mikroelektromechanischen Systemen

In der Feinwerk- und Mikrosystemtechnik werden piezoelektrische Biegeplatten zur Erzeugung von Auslenkungen, Krften und Volumenverschiebungen genutzt. Diese elektrisch-mechanisch-akustischen Wandler bestehen aus einer passiven Trgerschicht in Verbindung mit einer dnnen piezoelektrischen Keramik. Durch Einbringen von Lchern in derartige Platten knnen die akustischen Eigenschaften gezielt beeinflusst werden. Gleichzeitig ndern die Lcher auch das mechanische und elektrische Verhalten. Mittels kombinierter Simulation von FE- und Netzwerkmethoden werden die dynamischen Wandlereigenschaften dieser Biegeplatten untersucht. Dadurch knnen komplexe Zusammenhnge zwischen der Lochung und den elektrischen, mechanischen und akustischen Eigenschaften ermittelt werden. Zustzlich finden Messungen an einem hierfr konstruierten Aufbau statt, um die bereinstimmung von Simulation und Realitt nachzuweisen.