Hybridpolymere Wellenleiter Fur Die Evaneszent Feld Mikroskopie : Herstellung von bündig versenkten Streifenwellenleitern in PMMA

Die Forschung an zellulren Prozessen schreitet voran, neue Technologien zur berwachung biologischer Aktivitten gewinnen dabei immer mehr an Bedeutung. Insbesondere in der Mikro- und Nanotechnologie erffnen sich neue Wege, um Einblick in zellulre Vorgnge zu erhalten, die frher nicht mit vergleichbarer Przision erforschbar waren. Voraussetzung fr die Entwicklung dieser Techniken ist die stetige Miniaturisierung der verwendeten Bauteile. Die altbekannte Glasfaser ist lngst nicht mehr das kleinste realisierbare bertragungsmedium fr Signale auf Lichtbasis. Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Herstellung bndig versenkter Wellenleiterstrukturen auf Hybridpolymerbasis, eingebettet in PMMA. Die Realisierung dieser Wellenleiterstrukturen erfolgt zum einen mit Hilfe der Photolithographie, und zum anderen durch einen tzprozess mit reaktiven Ionen. Smtliche Arbeitsschritte bis hin zum fertigen Wellenleiter werden in dieser Arbeit ausfhrlich beschrieben. Auerdem wird eine interessante Alternative zur Herstellung von lichtleitenden Elementen im Hybridpolymer vorgestellt: die UV-induzierte Brechzahlmodifikation.