Mikromechanik : Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie

Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstrachtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich fur jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; fur den Studierenden ebenso wie fur den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.