Procesamiento de Peliculas Ferroelectricas PT y Pzt Mediante CVD-AA : Caracterización, estructurales ferroeléctricas y mecánicas

Este trabajo contiene la síntesis, caracterización estructural, ferroeléctrica, piezoeléctrica y nanomecánica de películas delgadas de perovkitas de los compuestos de PbTiO3 y Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 por el método de depositación química de vapor asistido por aerosol (CVD-AA), debido a que este método presenta las siguientes ventajas: 1) facilidad de agregar dopantes en cualquier proporción a la película tan solo con el hecho de introducirlos a la solución precursora, 2) el método no requiere de partes costosas como bombas de alto vacío u otros dispositivos, representando una gran ventaja en instalaciones a nivel industrial. Dentro de los usos mas importantes en la industria microelectrónica se pueden mencionar los siguientes: sensores, capacitores, memorias de almacenamiento de información en computadoras, sensores piezoeléctricos para almacenamiento de energía. Desde luego que el libro contiene los métodos de caracterización estructural mediante difracción de rayos-X en una y dos dimensiones, y mediante difracción de electrones en MET, también contiene curvas de Histéresis, importantes en la caracterización ferroeléctrica y piezoeléctrica, así como pruebas de nano-indentación