Tekhnologiya Mikromontazha Integral'nykh Skhem

Evolyutsiya izdeliy mikroelektroniki neotdelima ot progressa v oblasti tekhnologii korpusirovaniya integral'nykh mikroskhem, kotoruyu eshche 10-15 let nazad otnosili k razryadu vtorostepennykh, ne trebuyushchikh provedeniya shirokomasshtabnykh nauchnykh issledovaniy i baziruyushchikhsya na ispol'zovanii vozmozhnostey imeyushchegosya parka sborochnogo oborudovaniya. V dannyy zhe moment nablyudaetsya rezkoe povyshenie interesa uchenykh i spetsialistov seriynykh proizvodstv k tekhnike korpusirovaniya sovremennykh izdeliy integral'noy mikroelektroniki - bol'shikh i sverkhbol'shikh integral'nykh mikroskhem (BIS, SBIS), v kotoroy tsentral'noe mesto zanimaet mikromontazh kristallov. V knige obobshcheny rezul'taty teoreticheskikh i eksperimental'nykh issledovaniy fiziko-khimicheskikh svoystv tonkikh plenok, rassmotreny bazovye elementy korpusov i vyvodnykh ramok BIS, detal'no rassmotreny osobennosti tekhnologicheskogo protsessa, opisany osobennosti ispol'zuemogo pri mikromontazhe tekhnologicheskogo oborudovaniya. Kniga napisana prostym i ponyatnym yazykom, i, nesomnenno, naydyet priznanie u spetsialistov po mikroelektronike, poskol'ku izdaniya po predstavlennomu profilyu yavlyayutsya dostatochno redkimi i ves'ma vostrebovannymi kak v otechestvennoy pechati, tak i za rubezhom.