Teplovaya Degradatsiya Sistem Metallizatsii Poluprovodnikovykh Priborov

Monografiya posvyashchena izucheniyu temperaturnykh rezhimov raboty sistem metallizatsii (v tom chisle i mnogosloynykh struktur metall-dielektrik-poluprovodnik) pri prokhozhdenii cherez nikh impul'sov toka. Privedeny rezul'taty eksperimental'nykh issledovaniy, nachinaya ot nagreva alyuminievoy metallizatsii, napylennoy na kremnievuyu podlozhku, vplot' do razvitiya degradatsionnykh protsessov, kak v samoy metallicheskoy plenke, tak i v kontakte metall-poluprovodnik. Rassmatrivaetsya metodika, pozvolyayushchaya provodit' diagnostiku kontaktnykh sistem i opredelyat' oblast' ikh bezopasnoy raboty. V monografii obsuzhdayutsya takzhe protsessy defektoobrazovaniya v kremnievoy podlozhke i metody diagnostiki strukturnykh defektov, voznikayushchikh vblizi lokal'nykh teplovykh istochnikov. Rekomenduetsya dlya studentov i inzhenerno-tekhnicheskikh rabotnikov, spetsializiruyushchikhsya v oblasti mikroelektroniki i fiziki poluprovodnikov.