Statistische Prozessregelung von Fertigungs- und Messprozess zur Erreichung einer variabilitätsarmen Produktion mikromechanischer Bauteile

Die fertigungsnahe Qualitätssicherung und Prozessregelung von hybriden Mikrofertigungsprozessen steht insbesondere vor zwei Herausforderungen. Erstens sind die Qualitätsergebnisse von Mikrofertigungsprozessen durch eine hohe Variabilität aufgrund von Größeneffekten sowie veränderten Umwelt- und Prozessbedingungen im Mikrobereich charakterisiert. Zweitens liegt bei den hohen Genauigkeitsanforderungen im (Sub-)Mikrometerbereich die Streuung des Messprozesses in der Größenordnung der Streuung des Mikrofertigungsprozesses und erschwert die Entscheidung über Annahme oder Ablehnung des Messobjektes bezogen auf dessen Funktionstüchtigkeit.Die vorliegende Arbeit setzte sich daher zum Ziel, zum Einen eine Methodik zur kontinuierlichen Reduzierung der Variabilität von Mikrofertigungsprozessen und zum Anderen ein Werkzeug zur kontinuierlichen Visualisierung, Überwachung und Trennung der Streuung von Fertigungs- und Messprozess zu entwickeln.