Beitrage Zum Verstandnis Des Sauren Nasschemischen Atzens Von Silicium : Das System Flusssäure-Salpetersäure-Schwefelsäure/Wasser

Der Siliciumauflseprozess in Flusssure-Salpetersure-Schwefelsure/Wasser-Lsungen unterscheidet sich vom tzprozess in Flusssure-Salpetersure-Wasser-Standardmischungen in Bezug auf die Reaktivitt gegenber Silicium, erzielte Oberflchenmorpholgien sowie die beim tzen entstehenden gelsten und gasfrmigen Produkte. Die Behandlung von Siliciumwafern in Schwefelsure-reichen tzlsungen erzeugt Texturen mit hoher Rauigkeit und geringer Reflexion. mc-Si-Solarzellen texturiert durch eine Schwefelsure-reiche tzlsung weisen vergleichend zu Solarzellen mit Standardtexturen hhere Wirkungsgrade auf. Spektroskopische Untersuchungen zeigen, dass sowohl das Salpetersuremolekl als auch das Nitrylion am Siliciumauflseprozess beteiligt sind. Das vorliegende Werk beschreibt zudem die erstmalige Identifizierung von Trifluorsilan und Hexafluordisiloxan als gasfrmige Produkte des sauren nasschemischen tzens von Silicium.