Relation Microstructure Et Propri�t� Des Films de Zro2 Par Mocvd

Les films de ZrO2 pur sont dposs par MOCVD en variant de nombreux paramtres du processus. L'influence des conditions de dpt sur l'volution de la microstructure a t tudie et clarifie. Par des analyses approfondies des rsultats exprimentaux, trois mcanismes typiques de croissance de dpt de ZrO2 ont t proposes. Les contraintes de croissance de compression sont en relation directe avec la diffusion atomique et la quantit d'espces piges dans les films. La formation de la texture cristallographique est complexe et deux types de textures ont t analyses dans la phase ttragonale : la texture de fibre {110}t est contribue par l'effet superplastique des nano-cristallites de ZrO2 et par la contrainte de croissance de compression ; tandis que la morphologie en facette est due la croissance concurrentielle de diffrents plans cristallographiques. La stabilisation de la phase ttragonale de ZrO2 a t analyse et discute. En plus de la taille critique des cristallites, la stabilisation de la phase ttragonale est favorise par deux autres mcanismes : la grande quantit des dfauts cristallins et la morphologie des cristallites.