Optimierung der Plasmaparameter zur Abscheidung von kubischem Bornitrid in Hohlkatodenbogen

Diplomarbeit aus dem Jahr 1995 im Fachbereich Physik - Angewandte Physik, Note: 1,0, Universitt Stuttgart (Unbekannt), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe:Einleitung: Die immer grer werdenden industriellen Anforderungen an die verwendeten Werkstoffe, sowie die Tendenz immer billiger zu produzieren, verlangen nach neuen Herstellungs- und Veredelungsmethoden einerseits, andererseits aber nach immer sparsamerem Einsatz der teuren Ausgangsprodukte. Diese zwei Gesichtspunkte lenkten die Entwicklung in Richtung neuartiger, innovativer Materialien und deren Herstellungsmethoden. Die beiden wichtigsten Vertreter der neuen Materialien sind der Diamant und das kubische Bornitrid, die bisher hrtesten bekannten Stoffe. Wurde lange Zeit besonderes Augenmerk auf die Erforschung des Diamants gelegt, so ist seit dem letzten Jahrzehnt eine rasante Entwicklung bei der Untersuchung des kubischen Bornitrids zu beobachten. Es zeigte sich, da es dem Diamant in vielen Eigenschaften wie auergewhnlich hoher Hrte, hoher optischer Transparenz sowie chemischer Bestndigkeit ebenbrtig ist. In anderen Eigenschaften jedoch, zum Beispiel der hheren Bestndigkeit gegen Sauerstoff unter Temperatureinwirkung und dem geringeren Verschlei bei der Bearbeitung von Metallegierungen im Vergleich zum Karbidbildner Diamant ist kubisches Bornitrid ihm weit berlegen. Der wohl wichtigste Vorteil des kubischen Bornitrids ist die Mglichkeit, den Kristall sowohl p- als auch n- zu dotieren. Beim Diamant ist es bis heute nicht gelungen, eine n-Dotierung zu erreichen. Die Bandstruktur des kubischen Bornitrids ermglicht direkte bergnge und lt so an die Entwicklung photoaktiver Halbleiterbauelemente fr den UV-Bereich denken. Der groe Bandabstand erlaubt den Einsatz von kubischen Bornitridschichten als Isolatormaterial. Die Beschichtung von Oberflchen, sei es als Verschleischutz (Bohrer, Frser) oder lediglich als Schutz vor schdlicher Fremdeinwirkung (Glser, optische Bauteile, Bauteile