Zwei-Phasen-Strömungssensor für die geregelte Mikrodosierung von Mineralöl in einem autarken Dosiersystem.

Zur Realisierung einer optimierten Schmierung von Wälzlagern in schnelldrehenden Maschinenspindeln mit Mineralöl bei Förderraten von 2,5 - 50 nl/s plus/minus 10 Prozent wird ein neuartiges, integriertes Mikrodosier- und Sensorprinzip mit zwei piezoelektrischen Silizium-Mikromembranpumpen vorgestellt, das auf der kapazitiven Erfassung der Laufzeit von Phasengrenzen einer Zwei-Phasen-Strömung zwischen Fluid und Luft in einem Mikrokanal basiert.