Claquage Di lectrique Lors Dirradiation de Films Minces de Polym res : Effets de la charge électrique pendant la pulvérisation ionique des films minces de polymères organiques isolants

Ce livre prsente une tude fondamentale des effets de la charge lectrique lors d'irradiation d'chantillons de films minces de polymres organiques isolants par des ions de csium. Le but de ce travail est de mieux comprendre les modifications des proprits physico-chimiques induites, dans les films de polymres isolants soumis au profilage ionique en spectromtrie de masse d'ions secondaires (SIMS). L'tude des distributions nergtiques des ions secondaires prouve que, l'accumulation de la charge lectrique la surface des chantillons provoque le claquage dilectrique des films minces de polymres isolants, pendant la pulvrisation dans la phase transitoire. Les rsultats obtenus par spectroscopie de photolectrons X (XPS) montrent la cration d'une phase conductrice, permettant ultrieurement la neutralisation de la charge lectrique accumule travers des canaux conducteurs crs dans le film. Cette phase conductrice est constitue principalement d'lots de carbone et de clusters de csium mtalliques. Le claquage dilectrique dgrade le film de polymre en de de la surface et il fausse l'information molculaire obtenue par l'analyse SIMS, dans le rgime stationnaire.