Vakuumno-Plazmennye Protsessy Obrabotki Kvartsa

V rabote opisana novaya konstruktsiya i skhema raspolozheniya katodnogo i anodnogo uzlov razrabotannoy ustanovki ionno-plazmennogo travleniya mikrostruktur so skaniruemym VCh - magnetronom, obespechivayushchie vysokie skorosti ionnogo i reaktivno-ionnogo travleniya razlichnykh materialov. Opredeleny i opisany optimal'nye rezhimy travleniya kvartsa. Vpervye predlozheno ustroystvo dlya utilizatsii khlorsoderzhashchikh gazov i (ili) izmeneniya sostava rabochego gaza. Opredeleny optimal'nye rezhimy protsessov reaktivnogo ionno-luchevogo travleniya kvartsa v razlichnykh khlorsoderzhashchikh gazakh. Issledovany vozmozhnosti ispol'zovaniya tverdotel'nogo istochnika ftora dlya ionno-luchevogo travleniya kvartsa. Opredeleny optimal'nye rezhimy ionno-luchevykh i ionno-plazmennykh protsessov polirovki kvartsa.