Defektoobrazovanie V Sloistykh Strukturakh Dioksid Kremniya-Kremniy

Rabota posvyashchena ustanovleniyu zakonomernostey protsessov defektoobrazovaniya v sloistykh strukturakh dioksid kremniya-kremniy i pribornykh sistemakh na ikh osnove, ustanovleniyu mekhanizmov vliyaniya defektov na elektrofizicheskie kharakteristiki, modelirovaniyu protsessov tokoperenosa v etikh strukturakh i sistemakh. Pri pomoshchi teoreticheskikh i eksperimental'nykh metodov sovremennykh issledovaniy ustanovleny svoystva i predlozhena topologicheskaya model' real'noy struktury pripoverkhnostnoy oblasti v kremnievykh sloistykh strukturakh dioksid kremniya-kremniy, kotoraya osnovana na issledovanii mekhanizma vozniknoveniya plasticheskoy deformatsii na granitse razdela, chto privodit k obrazovaniyu defektov v perekhodnoy oblasti kremniya. Razrabotannye fizicheskie modeli tokoperenosa v kontaktakh metall-kremniy v ramkakh sushchestvuyushchikh priblizheniy i model' tokoperenosa v real'nykh polevykh MOP-sistemakh. Prednaznachena dlya shirovogo kruga spetsialistov v oblasti izucheniya protsessov defektoobrazovaniya i studentov sootvetstvuyushchikh spetsial'nostey.