Sensores de Oxigeno Basados En Peliculas Delgadas de Oxido de Titanio : Sensores de gases basados en óxidos metálicos semiconductores

Los detectores de gases y vapores con sensitividad y sensibilidad altas y selectividad apropiada, representan un área continua de investigación para aplicaciones de control de procesos y control ambiental. Muchos dispositivos comunes usados para estos fines no poseen las especificaciones que cumplan con requerimientos legales y de estandarización actual; algunos sistemas son muy caros y/o voluminosos para aplicaciones en el campo. Debido a esto, las investigaciones sobre el desarrollo de prototipos de sensores de gases basados en óxidos metálicos semiconductores, para aplicaciones domésticas e industriales se encuentran en crecimiento acelerado. Sin embargo, los principales retos en el desarrollo de nuevos sensores de gases radican en la producción de dispositivos en forma reproducible y económica con sensitividades y selectividades adecuadas. Por lo cual, es de interés analizar la aplicación de películas delgadas de óxidos metálicos como sensores que respondan a la presencia de gases específicos en el aire, alterando su resistencia eléctrica superficial.