Dinamika Fazovykh Perekhodov Na Poverkhnosti Kremniya

Dannaya rabota posvyashchena issledovaniyam dinamiki strukturnykh i fazovykh perekhodov na poverkhnosti poluprovodnikov, kotorye provodilis' s ispol'zovaniem original'noy difraktsionnoy metodiki, osnovannoy na registratsii in situ signala difraktsii zondiruyushchego izlucheniya na spetsial'nykh periodicheskikh strukturakh. V pervoy glave monografii privedyen analiticheskiy literaturnyy obzor po problemam impul'snogo svetovogo oblucheniya poluprovodnikov. Vo vtoroy glave privedeny opisanie tekhniki i metodiki eksperimentov. V chastnosti, zdes' privedeno opisanie beskontaktnoy difraktsionnoy metodiki dlya issledovaniya dinamiki protsessov rekristallizatsii i lokal'nogo plavleniya na poverkhnosti implantirovannykh poluprovodnikov. V tret'ey i chetvertoy chastyakh raboty rasskazyvayutsya rezul'taty eksperimental'nykh issledovaniy dinamiki fazovykh perekhodov poverkhnostey implantirovannogo i monokristallicheskogo kremniya, sootvetstvenno, vo vremya deystviya moshchnogo svetovogo oblucheniya. V pyatoy glave privodyatsya rezul'taty issledovaniy vliyaniya obrabotki v intensivnom potoke atomarnogo vodoroda na stepen' defektnosti pripoverkhnostnykh sloev monokristallicheskogo kremniya.