Metody Povysheniya Nadyezhnosti Mikroskhem Na Osnove Testovykh Struktur

V monografii detal'no rassmotrena sistema testovogo kontrolya kachestva tekhnologicheskogo protsessa izgotovleniya mikroskhem, protsedura obrabotki dannykh i modelirovaniya vykhoda godnykh kristallov IMS. Osoboe znachenie udeleno metodam otsenki nadezhnosti kristallov mikroskhem v sostave plastin na etape tekhnologicheskogo protsessa izgotovleniya IMS, pozvolyayushchikh optimizirovat' protsessy i obespechit' vysokiy uroven' nadezhnosti korpusirovannykh mikroskhem. Privedeny rezul'taty issledovaniy nadyezhnosti mnogosloynykh tonkoplyenochnykh sistem metallizatsii, konkretnye rezul'taty prakticheskogo primeneniya ryada metodov vyyavleniya i otbrakovki korpusirovannykh mikroskhem so skrytymi defektami: analiz dinamicheskogo toka potrebleniya, vozdeystviya impul'sov staticheskogo elektrichestva, termotsiklirovaniya, povyshennogo napryazheniya pitaniya. Kniga prednaznachena dlya spetsialistov elektronnoy i radioelektronnoy promyshlennosti, a takzhe studentov i aspirantov vuzov sootvetstvuyushchey spetsial'nosti.