Produccion y Caracterizacion de Recubrimientos de Cnx : Recubrimientos de nitruro de carbono CNx

En este trabajo de investigacin se crecieron pelculas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetrn sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono piroltico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composicin y los enlaces qumicos de las pelculas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectrnica de rayos - X (XPS) y espectroscopa de infrarrojo (IR). La morfologa superficial de los recubrimientos se examin por microscopa de fuerza atmica AFM. La dureza y el modulo de elasticidad de las pelculas se determinaron a partir de anlisis de nanoindentacin, se midieron durezas de 25 GPa. Los datos experimentales se complementaron con clculos tericos, utilizando el cdigo de Car-Parrinello Molecular Dynamics (CPMD), este es un cdigo de ondas planas que resuelve ecuaciones de Kon-Sham bajo la aproximacin de pseudopotenciales, con ellos se determin la estructura cristalina y sus parmetros de red, la estructura de bandas, la vibracin de los fonones y algunas constantes elsticas de la fase BC3N4.