Tehnologiya, Konstruktsii I Metody Modelirovaniya Kremnievyh Integralnyh Mikroshem Chast 1. Tehnologicheskie Protsessy Izgotovleniya Kremnievyh Integralnyh Shem I Ih Modelirovanie

Pod obschej redaktsiej chlena-korrespondenta RAN prof. YU. A. Chaplygina. Dano predstavlenie ob osnovnyh marshrutah izgotovleniya i konstruktsiyah izdelij mikroelektroniki na osnove kremniya. Rassmotreny osnovnye protsessy sozdaniya integralnyh shem: himicheskaya i plazmohimicheskaya obrabotka materiala; vvedenie primesej v kremnij; vyraschivanie okisla kremniya i ego ohlazhdenie; litografiya; sozdanie metallicheskih soedinenij i kontaktov. Privedeny metody modelirovaniya protsessov raspredeleniya primesej v poluprovodnikovyh strukturah. Dlya studentov i aspirantov, spetsializiruyuschihsya v oblasti mikroelektroniki i poluprovodnikovyh priborov, a takzhe spetsialistov. 3-e izdanie.