D�veloppement d''un Nouveau Syst�me d''implantation Ionique

L'objectif de ce travail tait double : le dveloppement d'un racteur d'implantation par immersion plasma et l'analyse des mcanismes de nitruration. En ce qui concerne la nitruration des aciers, nous avons montr que des traitements de nitruration au potentiel flottant des tempratures aussi basses que 300C taient ralisables dans le racteur URANOS avec des longueurs de diffusion de plusieurs centaines de microns. Pour les aciers faiblement allis, les diffusions ralises 380C, conduisent une amlioration notable des proprits mcaniques de surface. Dans le cas des aciers inoxydables, des couches trs dures d'austnite dilate sont formes en surface. Le second objectif de cette thse tait le dveloppement d'un nouveau racteur d'implantation par immersion plasma. A basse temprature l'implantation d'azote sur des aciers entrane la formation d'une couche dure de surface. La grande originalit du racteur que nous avons dvelopp est de pouvoir raliser des implantations temprature leve. Nous avons ainsi pu montrer qu' 900C, sur des alliages base titane, on peut raliser la croissance de films pais de TiN et Ti2N.