Biomems Et Plasmas Froids : Les plasmas Froids Comme Outil de Microfabrication et de Fonctionnalisation des BioMEMS

La combinaison de la technologie des plasmas froids avec les methodes de micro et nanofabrication ouvre de nouvelles perspectives pour l'elaboration de nouveaux microsystemes microfluidiques dedies a l'analyse biologique, medicale et environnementale. L'industrialisation des BioMEMS passera tres probablement par la realisation de la quasi- totalite des etapes de fabrication par une suite de procedes plasmas froids automatises, principalement a pression atmospherique. Au-dela des resultats experimentaux et des developpements concernant les BioMEMS, les plasmas froids et la spectroscopie THz, ce livre tente d'apporter un eclairage sur les orientations futures et les enjeux d'avenir pour les trois domaines sus-cites. Cet eclairage devrait permettre d'operer des changements et d'elaborer des choix strategiques des maintenant, afin de rester competitif au cours des dix prochaines annees et pouvoir ainsi pretendre a une petite part du grand marche des nouvelles technologies