D�pots Multicouches Fer/Tungst�ne Sur Substrat de Fer

L'tude a port sur la dtermination, l'laboration et la caractrisation d'une couche mince limitant le gradient de temprature sous l'effet d'un bombardement lectronique. Les matriaux choisis sont le tungstne associ au fer sous sa forme oxyde de fer. Le tungstne est un matriau rfractaire avec un haut coefficient de rtrodiffusion des lectrons. De plus, la magntite possde un bon coefficient d'missivit thermique. Ces deux proprits sont essentielles pour viter la dformation due au gradient de temprature. L'tude a port sur les dpts de couches minces (systme bicouche) oxyde de Fe/ W mais aussi alliage Fe-W sur substrat de Fe. Les dpts ont t raliss par pulvrisation magntron au moyen d'un gnrateur dcharge continue (pulse ou non) avec ou sans l'assistance d'un plasma auxiliaire radiofrquence cr par une antenne interne. Pour tenter d'obtenir une couche mince de Fe3O4, nous avons tudi les oxydations ex-situ aprs dpts ainsi qu'in-situ pendant ou aprs dpts (en les comparant entre elles). Les caractrisations ont concern l'tude de la structure, l'adhrence, la composition et la mesure des proprits optiques infrarouge et thermiques.