Fiabilit� Des Micro-Interrupteurs En Technologie Mems

L'amlioration, en termes de performances et de fiabilit, des micro-interrupteurs en technologie MEMS est indispensable pour permettre leur plus large industrialisation. Les travaux prsents dans cet ouvrage s'inscrivent dans le cadre d'une collaboration entre Schneider Electric et le CEA-Leti dont a rsult un micro-interrupteur MEMS la fiabilit suprieure l'tat de l'art mondial. Cet ouvrage prsente alors une tude des mcanismes de dfaillances du contact lectrique de ce composant, suivie du dveloppement d'un banc de test permettant d'valuer l'endurance de nouveaux matriaux de contact. Une tude des mcanismes d'tablissement et d'interruption du courant lorsque l'espace inter-contacts est rduit quelques dizaines de nanomtres est ensuite prsente. L'utilisation d'un microscope force atomique pointe conductrice a permis de simuler vitesse rduite l'actionnement d'un micro-contact et a permis de mettre en vidence un phnomne de transfert de matire se produisant lors des derniers instants prcdant la fermeture du contact. L'ensemble de ces travaux est alors utilis pour dfinir les rgles de conception d'un micro-contact fiable.