Rev�tements Interf�rentiels Pour l''optique Extr�me UV

L'laboration de nouveaux revtements interfrentiels multicouches est motive par la demande de l'astrophysique solaire et par le dveloppement de nouvelles sources de rayons EUV (source gnration d'harmoniques d'ordre lev, laser X, rayonnement synchrotron). Nous avons tudi et dvelopp diffrents systmes multicouches possdant la fois des proprits optiques optimises (rflectivit et/ou bande passante) et une bonne stabilit temporelle et thermique pour la gamme de longueurs d'onde comprise entre =30 nm et =50 nm. Une augmentation significative de la rflectivit des multicouches dans la gamme spectrale de 30 40 nm a t obtenue par l'addition d'un troisime matriau dans l'empilement. Nous montrons galement que l'utilisation de ces multicouches trois matriaux par priode permet le dveloppement d'empilements rpondant des demandes spcifiques (miroirs large bande passante, miroirs double bande). Pour les longueurs d'ondes comprises entre 35 nm et 50 nm nous avons dvelopp des multicouches base de scandium.