M�canismes D Enl�vement de Particules Par Laser Impulsionnel

Le developpement des nanotechnologies necessite, entre autre, d'utiliser de nouvelles techniques de nettoyage permettant l'enlevement sans contact de particules de tailles nanometriques. Le procede laser consistant a irradier les materiaux avec des impulsions nanosecondes se revele une approche prometteuse. Cet ouvrage presente les specificites des processus d'interaction "laser-particule- surface." Il apporte la demonstration que l'enlevement de particules resulte d'une competition entre differents mecanismes. L'evaporation explosive de l'humidite residuelle piegee au voisinage des polluants est le mecanisme non-destructif principal. Parmi les mecanismes d'endommagement observes, l'ablation locale du substrat resultant des phenomenes d'exaltation de champ proche optique limite la fenetre de travail des procedes de nettoyage laser. Cependant, ce processus presente un interet pour d'autres applications telles que la nanostructuration de surfaces.