R�sonateurs � Ondes Acoustiques Guid�es Sur Miroir de Bragg

Les composants passifs lectro-acoustiques sont des lments critiques des architectures RF. Les plus reprsents sont les filtres ondes acoustiques de surface (SAW) ou de volume (BAW), qui permettent le filtrage RF (filtre d'antenne). Pour le filtrage de canal, les solutions SAW sont actuellement en place, bien que des travaux rcents aient montr l'intrt des rsonateurs ondes de Lamb pour ce type d'application. Ces derniers composants prsentent l'avantage d'tre compatibles avec une technologie de fabrication de filtres BAW raliss sur membrane suspendue (FBAR), permettant une co-intgration des deux types de composants moindre cot. Toutefois, le choix technologique de STMicroelectronics et du CEA-Leti s'est port sur une technologie de rsonateurs BAW raliss sur miroir de Bragg (SMR). Le but de cette thse est donc de dmontrer la possibilit de raliser des rsonateurs reprenant le principe des rsonateurs ondes de Lamb, mais co-intgrables avec des BAW-SMR.