Films Minces Zno Dop� Au Fluor Par Pulv�risation Cathodique Magn�tron

Le dveloppement croissant des technologies de l'information et des tlcommunications a entran l'intgration des matriaux tansparents conducteurs (TCO) dans le domaine de l'optolectronique, aussi bien pour les composants discrets que pour les lectrodes transparentes de grande surface comme dans les crans plats. Parmi des nombreuses mthodes de traitement de surface, la synthse de films minces par pulvrisation cathodique est une mthode trs utilise industriellement. Une couche mince d'un matriau donn est un lment de ce matriau dont l'une des dimensions, qu'on appelle l'paisseur, a t fortement rduite de telle sorte qu'elle s'exprimera en nanomtres. Cette trs faible distance entre les deux surfaces limites entrane une perturbation de la majorit des proprits physiques. La diffrence essentielle entre le matriau l'tat massif et l'tat de couches minces est le fait que, dans l'tat massif, on nglige, gnralement avec raison, le rle des limites dans les proprits, tandis que, dans une couche mince, ce sont au contraire les effets lis aux surfaces limites qui sont prpondrants.